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智控学院学术沙龙:微纳米计量与应用

发布者:智能制造与控制工程学院发布时间:2025-04-30

2025年4月29日下午,智能制造与控制工程学院李源教授作了关于“微纳米计量与应用”的学术报告。本次报告由智控学院副院长吴镝主持,测控技术与仪器教研室教师、相关领域的青年教师和学生参加了本次学术沙龙。

李源教授于今年年初加入上海第二工业大学,长期从事微纳米测量仪器研发、微纳米计量与测试技术等相关工作。相关成果曾获得上海市科技进步二等奖、中国计量测试学会一等奖、中国分析测试协会科学技术二等奖等。

本次报告,李源教授从“什么是测量”的问题引入,选取光刻机为典型案例,生动剖析其工作原理,引出微纳米计量和应用的核心主题。随后,通过深入解析长度计量的历史发展,李源教授系统阐述了微纳米计量的基本原理、常用仪器及方法,并结合生物、集成电路等前沿领域的应用,展现了微纳米计量技术的重要价值。报告最后,李源教授展望了微纳米计量的未来发展趋势和技术预测。

报告结束后,李源教授与在场师生围绕微纳米测量技术难点、学生发展等方面展开了交流,为青年教师和科研团队拓展了创新思路。