教师介绍 | ||
| 教师姓名 | 李运锋 |
职务职称 | 教授级高工 | |
研究方向 | 机械工程/电子信息/光电测量 | |
联系电话 | 021-58631320 | |
yfli@shupec.com | ||
通讯地址 | 上海浦东新区民风路396号 | |
个人简介 | ||
长期从事半导体高端装备的攻关与产业化工作。持续参与了科技部重大专项、工信部高质量发展重大专项、上海市战新项目、自然科学基金等10余项科技攻关课题与项目，领导了多项国产首台设备的研发工作及产业化工作。申请国内外发明专利100多项，发表论文20余篇，牵头或参与了多项国家标准制定。 | ||
主要论文、专利及著作情况 | ||
l 论文： 1. 李运锋,黄元昊,刘亚,蓝科,基于波长积分双色法的小视场快速温度场测量，光学仪器，2022 ,44 (02)：1-6 2. 李运锋,蓝科，硅片键合套刻偏差测量技术，光学仪器 . 2021 ,43 (05)：7-15 3. Ke Lan, Xiao Liu, Tingyuan Jia, Liandong Pan, Jianrui Cheng, Yunfeng Li, Xiangzhao Wang, and Cailian Chen, Accuracy improvement of focusing and leveling sensors based on pupil phase modulation, Applied Optics, 2025, 64( 2):392-401
l 专利： 1.相对位置测量对准专利，发明专利，US10359712B2，2019.07，排名：1。 2.自参考干涉对准系统，发明专利，CN105388706B，2018.03,排名：1。 3.对准系统及消除对准系统的电子噪声的方法,发明专利，2019.09,排名：1。 l 著作： 无 | ||
主要科研项目 | ||
1. 超精密曲面光学元件表面/亚表面疵病检测与评价方法研究，自然基金委。 2. 高精度磁流变抛光技术及其性能退化机理研究，自然基金委。 3. 百皮米级超精密光学面形测量设备研制，科技部重点研发计划。 | ||
荣誉及获奖 | ||
1.上海市优秀技术带头人 2 .浦东明珠领军人才 3.上海市领军人才
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